SJT 31066-1994 3180型溅射台完好要求和检查评定方法
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0.27 |
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3 |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31066-94,3180型溅射台完好要求和检查评定方法,主题内容与适用范围,本标准规定了 3180型溅射台的完好要求和检查、评定方法,本标准用于半导体器件、集成电路生产用类似3180型结构的溅射台;其它型号、规格的溅,射台,亦可参照有关条款执行,2完好要求,2.1 性能,2.1.1 设备生产效率,应达到60片/h,2.1.2 设备性能,应满足生产エ艺要求,其中主要性能指标应达到下列要求,a.极限真空度:V6.65Xl（）Tpa；,b.系统真空度（即真空室曝露在大气5min后,系统经90min抽真空,真空度应达到）；,<1, 995X 10-4Pao,2.1.3 设备的加工质量,应达到规定指标;膜厚均匀性（片间、批间）为士5%,2.2 微机控制系统,2. 2.1各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏、可靠,控制装置各组成部分保持完整、功能,齐全,性能稳定,工作状态良好,显示清晰,2.2.2 显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,2.2.3 输入/输出程序正确无误,2.2.4 装置内部清洁、布线整齐,线路无老化、破裂、各线路标志齐全、正确,2. 2.5所有裸露导体（包括外壳）,必须与保护接地端子构成通路,保证有永久良好的导电,性,保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于o. 1（1,2.3 传动系统,2.3.1 片盒传动位置正常,运动平衡,无冲击和卡片现象。限位可靠。无跳片现象,2.3.2 圆片取拾臂升降自如,装片、拾片稳定、可靠,碎片小于2%,2.3.3 真空室圆片转动板,转动灵活,装置可靠,定位准确,2-4气路系统,2.4 -1气体管路系统应畅通,无堵塞现象,2.4- 2气路系统的运动件在规定的各种速度范围内,不应发生振，动和显著的冲击,不应有停,滞和爬行现象,2.4.3 气路系统各元件动作灵敏、可靠、各部压カ不应低于或超过规定压カ的15%,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01,实施,1,SJ/T 31066-94,2.4.4 气路系统中失压和过压保护必须可靠,2.4.5 气路系统基本无有外部泄漏,管道两端应可靠固定。管道、接头、阀门、元件之间联接应,牢固、密封,2.4.6 过滤器滤芯应清洁,气体通过滤芯的最大压降不应超过制造厂的规定的15%。分离器,的放水阀应灵活有效,2.4 .Z油雾器中的润滑液应清洁够量,2.4.8压力表等仪表齐全、完整,灵敏、可靠。运转良好,指示仪表有有效期内校验合格证,2.5 电气系统,2. 5.1电气系统装置齐全,管线完整,性能良好,运行可靠,2.5.2 电气箱内清洁,布线整齐、线路无破损老化,各种线路标志明显,联接可靠,2.5.3 各指示灯、按钮开关、齐全完整、工作可靠,2.5.4 各电压、电流表指示准确,应有有效期内检验合格证,2.5.5 水、气、真空、靶室门连锁可靠,2.6真空系统,2. 6.1机械泵工作稳定,技术性能满足生产エ艺要求,具体完好要求参照SJ/T 31412—94,《W型真空泵完好要求》执行,2.6.2 冷泵压缩机工作稳定可靠,过热保护灵敏,无异常声响;冷泵温度显示正确,2.6.3 真空管路连接紧固,无泄漏,2.6-4各种仪表、热偶计等齐全,完整无缺损,指示灵敏.、可靠,有有效期校验合格证,2-7靶电源,2.7.1 电压,电流显示准确,与功率表指示相符,与系统设定值一致,2.7.2 靶短路电流应小于23A,2.8 安全防护,2.8.1 溅射台设有专用接地装置,其接地电阻小于1,2.8.2 联锁装置必须安全可靠,2.9 冷却系统,2.9.1 冷却器具齐全、完整,2.9.2 冷却水管路循环正常,无阻塞、无泄漏,冷却液不得渗入电器箱内,各接头处连接牢固,可靠,2.10 维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3.1 检查方法,3.1.1 完好要求所列内容中,凡有指标参数要求的项目,应运用离子规管,四探针测仪,热电,隅等检测仪检测,3.1.2 其余项目采用现场主观法进行检测,2,SJ/T 31066-94,3.2 评定方法,3. 2.1主要项目有2.1.1.2.1. 3.2.4. 4.2. 8.1~2. 8. 2;其余均为次要项目,3.2.2 主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2.3 完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体廚改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:糜祖熙、茅国成.潘景炎.顾军建、吴正伟,—3……
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